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Telekommunikation
thermisch aktuierte Relaismatrix* (klick für Video)
thermisch aktuierte Relaismatrix* (klick für Video)

Der Telekommunikationsbereich hat sich zu einem klassischen Einsatzgebiet für Mikrosysteme entwickelt. Sie finden sich beispielsweise in der Netzwerktechnik (Schalter) oder in Handys (Mikrofone, Antennen).

Über mehrere Jahre hat NBT Technologien für einen MEMS Schalter nach Kundenvorgabe entwickelt. Eine Matrix von Mikrorelais war die Kernkomponente eines programmierbaren Vermittlungssystems, um verdrahtete Telefon- und Datenverbindungen flexibel und ferngesteuert zu etablieren und wieder zu lösen, wie es beispielsweise in Bürozentralen benötigt wird. 

NBT hat den Kunden beim Transfer der Herstellungstechnologie und bei der Wahl von zwei weiteren Produktionsstätten in Asien unterstützt. NBT war im weiteren Verlauf beauftragt, vor Ort die Erhöhung der Produktionskapazität auf mehrere Tausend Wafer pro Monat (WOPM) zu unterstützen.

Zur Herstellung des MEMS Chips wurden verschiedene Schritte mit Galvanikprozessen eingesetzt, so z.B. für die Mehrlagenumverdrahtung der Zuleitungen, die Waferdurchkontaktierung, das eutektische Bonden mit Gold und Indium (hermetisch und unter Inertgas) und für den MEMS Schalter selbst.

NBT hat fundamentales Know-How und IP auf dem Gebiet von Mikrorelais aufgebaut. NBT wurde ein Patent auf eine Weiterentwicklung des Mikroschalters erteilt.

 

*mit freundlicher Genehmigung von Simpler Networks, Inc. 

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