Der NBT suncup® ist eine vorteilhafte Schlüsselkomponente für durchdachte Konzepte bei der Solarzellenmetallisierung mittels Galvanik. Der suncup® arbeitet als fountain-plater, bei dem die Prozessseite nach unten zeigt. Substrate werden ohne Halter einseitig bearbeitet, die Rückseite bleibt trocken beim Prozess. Neben Galvanikprozessen können alle möglichen Nassprozesse ohne Einschränkungen durch oder für die Rückseite durchgeführt werden.

NBT bietet eine suncup® Laborversion an für Galvanik oder Ätzprozesse wie z.B. die Porösifizierung von Silizium. Das suncup® Labortool nimmt wenig Platz ein, passt unter einen Abzug mit Standardmaß und eignet sich sehr für Entwicklung und Prozessoptimierung.

Grundumfang: suncup®, Tank (25l), Durchflussmesser, Pumpe & Verrohrung (leichte Entleerung/leichter Anlauf)

Zubehör: Heizung (direkt), HF Flusssäuresensor, pH-Meter, Rückseitenkontakt (trocken), Lichtintegration

suncup® Anwendungen
- Galvanik für Solarzellenmetallisierung
  (Vorderseite/Rückseite; Galvanik auf Startschicht/Siliziumdirektmetallisierung)
- Siliziumdirektmetallisierung, z.B. in Kombination mit porösem Silizium
     + Silizidbildung ohne Emitterkurzschluss
     + einfacher Wechsel trocken/nass/trocken (Silizidbildung nach letzter Galvanik)
- Galvanik auf hochohmigen Emittern
- nasschemische / elektrochemische Prozesse wie Texturieren, Reinigen, Anodisieren, Ätzen

suncup® Vorteile
- einseitige Prozessierung mit trockener Rückseite
- kein Rückseitenschutz nötig -> hohe Flexibilität für chemische Prozesse
- Prozesse mit bis zu 25%-iger Flusssäure, z.B. für poröses Silizium im Bereich von 5% bis 25% HF
- modularer Tool-Aufbau (Anodenkorb, Flusszelle, Krone für verschiedene Wafergrößen, Kontaktierung)
- Wechsel für andere Wafergrößen und Kontaktkonfiguration mit Klickvorrichtung
  (automatisch in Produktionsanlage)
- Lichtunterstützung integrierbar
- homogene Flussbedingungen
- elektrische Kontakte leicht zu entmetallisieren oder trocken
- trockenes Waferhandling, Option für online-Bruchdetektion
- schlanke Produktionstechniken and Skalierberkeit für Produktionsanlagen

Weitere Informationen
suncup® smart plating tool.pdf
suncup_accessories.pdf
suncup_installations.pdf